[发明专利]一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具在审
| 申请号： | 202010849712.6 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN112030128A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 郝雄波;孙剑;贾昕胤;刘学斌;邹纯博;李勇;畅晨光;韩亚娟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 郑丽红 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于Sagnac型干涉仪组件的镀膜夹具，解决现有Sagnac型干涉仪组件存在制作周期长、成本高以及使用时存在调制度降低的问题。该镀膜夹具包括干涉仪固定组件、镀膜窗口组件和上保护罩；干涉仪固定组件中，夹具法兰盘的端面设置有溅射孔；楔块相对的设置在溅射孔内，且其外侧面上设置有第一限位孔；抵紧块设置在夹具法兰盘的上端面，且其外侧面上设置有第二限位孔；调节支座均固定设置在夹具法兰盘上端面，调节螺杆一端伸入第一限位孔和第二限位孔内，另一端穿过设置在调节支座上的螺纹孔，与调节支座螺纹连接；镀膜窗口组件包括四个窗口刃片，四个窗口刃片依次首尾排布设置在溅射孔内；上保护罩设置在夹具法兰盘的上端面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 sagnac 干涉仪 组件 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
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