[发明专利]转印滚轮与其制造方法及光学膜片与其制造方法在审
| 申请号： | 202010852115.9 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN114077160A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 林刘恭 | 申请（专利权）人： | 光群雷射科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵永 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种转印滚轮与其制造方法及光学膜片与其制造方法。转印滚轮制造方法包括：在金属滚筒外表面涂布光阻层；在光阻层外表面形成多个曝光图案，任一曝光图案的深度小于光阻层的厚度；使光阻层显影，移除曝光图案的光阻层材料，使得光阻层形成多个凹陷部分及多个凸起部分；通过非等向蚀刻手段对光阻层蚀刻，使得多个凹陷部分的光阻层被完全移除，多个凸起部分的光阻层未被完全移除而形成图案化光阻层；通过非等向蚀刻手段以图案化光阻层为屏蔽对金属滚筒蚀刻，而于金属滚筒形成多个压印图形；将图案化光阻层移除而构成转印滚轮。 | ||
| 搜索关键词： | 滚轮 与其 制造 方法 光学 膜片 | ||
【主权项】：
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