[发明专利]一种金属硅化物制备方法和制备辅助装置有效
申请号: | 202010855225.0 | 申请日: | 2020-08-21 |
公开(公告)号: | CN111943211B | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 王培;李威威;赵予生;王李平 | 申请(专利权)人: | 南方科技大学 |
主分类号: | C01B33/06 | 分类号: | C01B33/06;C01B33/021 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张洋 |
地址: | 518000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种金属硅化物制备方法和制备辅助装置,涉及晶体制备技术领域,包括:在混合后的金属源和硅源的外周包覆密封结构,以形成待反应块体;在预设反应压力和预设反应温度条件下使待反应块体发生化学反应;对待反应块体泄压降温至常温常压以得到金属硅化物。由于反应所处高温高压密闭体系,反应较为彻底,产率较高,同时,可以避免副产物的生成,有效提高金属硅化物的纯度。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属硅 制备 方法 辅助 装置 | ||
【主权项】:
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