[发明专利]高频特性检查装置、以及高频特性检查方法在审
| 申请号： | 202010855481.X | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112444728A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 松井洋道;铃川胜;寺冈诚人;竹山裕隆 | 申请（专利权）人： | 雅马哈精密科技株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 谢辰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供高频特性检查装置以及高频特性检查方法，将检查探针与基板自动连接，适当地检查高频特性。高频特性检查装置为检查基板的高频特性的高频特性检查装置，具有：检查夹具，其能够移动，且具有用于从基板的主表面侧检查基板的多个检查探针；摄像部，其对基板的主表面侧进行拍摄；基板保持器，其保持基板，且能够至少相对于基板的主表面平行地移动；控制部，其基于摄像部拍摄到的图像，至少使基板保持器移动，从而使检查探针与基板接触；控制部使基板保持器相对于基板的主表面平行地移动，在进行了基板相对于检查夹具的定位后，使检查夹具与基板保持器相对地在主表面的垂直方向上移动，从而使检查探针与基板接触。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 特性 检查 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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