[发明专利]表面缺陷检测系统和检测方法在审
申请号: | 202010858836.0 | 申请日: | 2020-08-24 |
公开(公告)号: | CN112255242A | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 陈勇;赵剑;吴华;张传升 | 申请(专利权)人: | 重庆神华薄膜太阳能科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 吴大建;朱明明 |
地址: | 404100 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本申请提供了一种表面缺陷检测系统和检测方法,该检测系统包括:检测平台,其入口端用于与上一工序设备输出线对接,其出口端用于与下一工序设备输入线对接;检测平台上安装有传动滚轮组,用于传送样品;蒸汽喷淋部,其位于检测平台的入口端,用于将蒸汽喷涂至样品以在样品表面形成雾膜;光源部,其用于提供照射光线;以及风刀部,其设置在检测平台的出口端的上游,用于干燥样品。利用该表面缺陷检测系统,能够从上一生产工序自动获取基板玻璃样品,且能够自动干燥检测合格的样品,并能够将干燥后的样品自动运送至下一生产工序以备使用,从而降低生产成本及安全风险。 | ||
搜索关键词: | 表面 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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