[发明专利]纳米压印设备及压印方法在审
| 申请号： | 202010862868.8 | 申请日： | 2020-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN111913349A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种纳米压印设备，包括：下基盘，其上设置有透光区，且在下基盘上放置有PET，PET的表面增粘处理，胶体滴至PET上；紫外固化装置，其位于下基盘下方，以通过透光区射向PET；竖向移动机构，其具有可竖向移动的支撑臂；上基盘，可翻转的连接于支撑臂上，且上基盘位于下基盘上方，其吸附面朝向下基盘；真空发生装置，其与上基盘以及下基盘连接。一种压印方法，包括以下步骤：1)、上料；2)、固定晶圆及PET；3)、滴胶；4)、压印；5)、固化。本发明中溢出的胶体由于重力原因沿PET流动，不会将晶圆粘在下基盘上，避免损坏晶圆，压印时，上基盘的吸附面与下基盘的吸附面上的PET平行，保证了压印质量以及合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 设备 方法 | ||
【主权项】：
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