[发明专利]一种氧化银薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 202010864474.6 申请日: 2020-08-25
公开(公告)号: CN111893428B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 徐伟;黄冬梅;张庆瑜;暹娜塔·塞拉帕帕;凯维吉特·伦纳帕;申渝;王建辉;陈佳;梅远飞;高旭;范聪;张冰;郭智威 申请(专利权)人: 重庆工商大学;重庆大学;重庆南向泰斯环保技术研究院有限公司
主分类号: C23C8/36 分类号: C23C8/36
代理公司: 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 代理人: 艾诚璐
地址: 400067 *** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 发明涉及材料制备技术领域,具体为一种氧化银薄膜的制备方法,包括如下步骤:A、准备实验箱,实验箱内安装有等离子发生器,将带有银膜的基片固定在实验箱内;B、对基片进行加热;C、向实验箱内冲入氧气或氧气与惰性气体的混合气体,给等离子发生器通电,产生氧等离子体;D、使带有银膜的基片浸润到等离子体中,银膜在氧等离子体的作用下形成薄膜。本发明制备出来的氧化银薄膜具有不同的纳米结构,能够解决普通致密薄膜应用时比表面积低、反应位点少的问题。
搜索关键词: 一种 氧化银 薄膜 制备 方法
【主权项】:
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