[发明专利]一种测量液晶透过波前的干涉仪在审
申请号: | 202010864875.1 | 申请日: | 2020-08-25 |
公开(公告)号: | CN111854984A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 祝沛 | 申请(专利权)人: | 上海乾曜光学科技有限公司 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02;G01J9/00;G01M11/02 |
代理公司: | 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 | 代理人: | 王风平 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种测量液晶透过波前的干涉仪,包括基座和安装在基座上的工控机;所述基座上设置有光路结构;所述基座上安装有相机,相机连接工控机;所述光路结构包括光源设备和对应光源设备的反射参考镜;光源设备与反射参考镜之间依次设置有分光棱镜、第一准直镜和透射参考镜;所述分光棱镜上另一侧位置对应相机,且相机的镜头与分光棱镜之间设置有第二准直镜。本发明是一种基于激光的干涉仪,采用线偏振光输出,且偏振方向与液晶盲孔或液晶面板的双折射O光方向一致,实现液晶盲孔或液晶面板的透过波前测量的正确。 | ||
搜索关键词: | 一种 测量 液晶 透过 干涉仪 | ||
【主权项】:
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