[发明专利]掩膜版和蒸镀装置在审
| 申请号： | 202010871575.6 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112011757A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 康梦华;丁立薇 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版和蒸镀装置。该掩膜版包括掩膜版框架和至少一条掩膜条；掩膜版框架包括第一组边框和第二组边框，第一组边框和第二组边框均包括两个相对设置的边框；掩膜条设置于第一组边框上，沿掩膜版框架指向掩膜条的方向，第一组边框中的每一边框的高度由边框中间向边框两端减少；和/或，还包括至少一条第一支撑结构，第一支撑结构设置于第二组边框上，沿掩膜版框架指向第一支撑结构的方向，第二组边框中的每一边框的高度由边框中间向边框两端减少。当待蒸镀结构和掩膜版具有下垂现象时，可以提高掩膜版下垂时对待蒸镀结构的承托作用，进而可以提高掩膜版的蒸镀精度，减小待蒸镀结构在蒸镀过程中不同区域的shadow不均现象。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010871575.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
