[发明专利]一种CF返工液在审
| 申请号： | 202010875705.3 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112114502A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 何珂;戈士勇;汤晓春 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/00;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 林友琴 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种CF返工液，其组分及其重量百分数为：5‑15％的无机强碱、1‑2％的聚醚类非离子表面活性剂、10‑20％的水溶性有机溶剂、2‑5％的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1、0.1‑1％的水溶性离子溶液，余量为高纯水。本发明通过在CF返工液中添加了羧酸酯水解酶EC3.1.1.1和水溶性离子溶液，克服了CF返工液在较低温度下的剥离效果不佳的缺点，可以降低客户端使用温度，减少了药液的挥发，保证了药效，对基板损伤小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cf 返工 | ||
【主权项】：
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