[发明专利]一种全新靶材冷却系统在审
| 申请号： | 202010876874.9 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN111879058A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 时昌茹 | 申请（专利权）人： | 深圳市绿谷离子镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | F25D31/00 | 分类号： | F25D31/00;F25D17/02 |
| 代理公司： | 宁波高新区核心力专利代理事务所(普通合伙) 33273 | 代理人： | 涂萧恺 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种全新靶材冷却系统，包括靶面连接块（1）、进出水管道（2）以及进出水装置（3）；所述进出水管道（2）一端与所述靶面连接块（1）连接，所述进出水管道（2）另一端与所述进出水装置（3）连接；冷却液进入所述进出水装置（3）并通过所述进出水管道（2）进入到所述靶面连接块（1）中，所述冷却液与所述靶面连接块（1）换热之后再通过所述进出水管道（2）从所述进出水装置（3）离开。本发明在特定工作环境中可以冷却靶面，冷却效果好，利用率高，能有效的对靶面进行降温而且可以重复利用，并且结构较为简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全新 冷却系统 | ||
【主权项】：
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