[发明专利]掩膜版及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202010880995.0 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN112176282B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 张浩瀚;李慧;刘明星;甘帅燕 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人： | 丁建春 |
| 地址： | 230001 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种掩膜版和蒸镀装置，该掩膜版包括：框架；多个支撑条和多个掩膜条，平行间隔设置于框架的第一表面，且相邻支撑条之间设置有一个掩膜条；其中，支撑条远离框架一侧表面的面积小于其靠近框架一侧表面的面积；掩膜条远离框架一侧表面的面积大于其靠近框架一侧表面的面积；支撑条邻近掩膜条的边缘设置有第一台阶部，第一台阶部包括与第一表面平行的第一台阶面；掩膜条邻近支撑条的边缘设置有第二台阶部，第二台阶部包括与第一表面平行的第二台阶面；第二台阶面与第一台阶面搭接，且支撑条远离框架的一侧表面高于掩膜条。通过上述方式，本申请可以使得在蒸镀对位过程中待蒸镀基板不会直接压到掩膜条。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 装置 | ||
【主权项】：
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