[发明专利]对在目标衬底上检测的缺陷进行自动化复检的方法和设备在审
| 申请号： | 202010883345.1 | 申请日： | 2015-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN111982953A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | H·辛哈;D·斯皮瓦克;H·旭;H·萧;R·博特罗 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2252 | 分类号： | G01N23/2252 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种对在目标衬底上检测的缺陷进行自动化复检的方法和设备。所述方法包含：使用次级电子显微镜SEM执行所述缺陷的自动化复检以便获得所述缺陷的电子束图像；执行基于如根据所述电子束图像确定的所述缺陷的形态而将所述缺陷自动化分类成若干类型；选择特定类型的缺陷以用于自动化能量分散式x射线EDX复检；及对所述特定类型的所述缺陷执行所述自动化EDX复检。另外，揭示用于获得准确参考以便改善EDX结果的有用性的自动化技术。此外，揭示基于所述EDX结果将所述缺陷分类的自动化方法，所述自动化方法提供组合形态信息与元素信息两者的最终帕累托。还揭示其它实施例、方面及特征。 | ||
| 搜索关键词： | 目标 衬底 检测 缺陷 进行 自动化 复检 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010883345.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
