[发明专利]涂布装置在审
| 申请号： | 202010885914.6 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112447559A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 松近启司;松泰司;俵谷佳典;铃木优史;西山耕二;村井征尔;福本靖博 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 陈甜甜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种涂布装置。形成有多个孔部(43)的截流环(41)配置在内罩(21)的下端(26A)，且具有与外罩(23)的从外周壁(29)到间壁(31)为止的宽度大致相同的环宽。由于从内罩(21)滴落的涂布液的一部分被截流环(41)拦截，因此能够防止因冰柱状的涂布液导致底排气通路(PT2)堵塞。另外，当气体从外排气通路(PT1)流向底排气通路(PT2)时，截流环(41)能够捕获涂布液雾气。进而，当气体从底排气通路(PT2)流向内排气通路(PT3)时，截流环(41)能够进一步捕获残留的涂布液雾气。能够提高处理液雾气的捕获效率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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