[发明专利]一种化学材料气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种化学材料气相沉积装置，包括底座、加热棒、排气管、气泵、进步电机和分流管，所述底座的上表面固定安装有加热反应室、气泵和沉积室，且加热反应室的内壁底部固定连接有加热棒，并且加热反应室的侧壁上固定连接有输气管，所述排气管的端部分别与加热反应室、气泵和沉积室固定连接，且加热反应室与沉积室之间固定连接有连接管，并且连接管贯穿沉积室的侧壁设置。该化学材料气相沉积装置，气体反应和分子沉积两个过程分开，减少了分子沉积步骤中气体的混杂程度，有利于分子的快速沉积，且本装置能够使产物分子均匀的在工件表面沉积，并且能够有效利用产物分子，减少产物分子的浪费。