[发明专利]一种翻转式清洗机上的硅片盒有效
| 申请号： | 202010902802.7 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN112024519B | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 魏运秀 | 申请（专利权）人： | 孙丹清 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/06;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 蓝天知识产权代理(浙江)有限公司 33229 | 代理人： | 周绪洞 |
| 地址： | 317500 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种翻转式清洗机上的硅片盒，包括圆筒形的盒体，盒体内插设有抽屉架，抽屉架包括两根呈截面呈T形的弧形支撑板，弧形支撑板的内壁上成型有若干道圆弧形的插槽，弧形支撑板一端的内壁上固定有外端盖，弧形支撑板另一端的内壁上固定有内端盖；所述盒体下端的两侧壁上成型有T型的导轨槽，抽屉架上的弧形支撑板插接在盒体的导轨槽内，盒体的封板上成型有圆孔，内端盖上插接固定有偏心轴，偏心轴穿过封板的圆孔成型有连轴，连轴上插套有磁性锁杆，连轴的外端插套固定有限位套，所述圆孔四周的封板上插接固定有与磁性锁杆相对的永磁铁块。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 翻转 清洗 硅片 | ||
【主权项】：
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