[发明专利]一种用于清洗硅片的装置有效
| 申请号： | 202010927248.8 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN112090843B | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 白宗权 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B15/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;姚勇政 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于清洗硅片的装置，属于硅片加工领域。该装置可以包括：槽体，所述槽体限定出用于容纳清洗液的清洗液容纳空间，并且所述槽体具有用于将所述硅片放入到所述清洗液容纳空间中或将所述硅片从所述清洗液容纳空间取出的水平的槽体开口，其中，所述清洗液含有用于清洗所述硅片的易挥发性化学清洗剂；以及罩盖，所述罩盖构造成密闭所述槽体开口以避免因所述槽体周围的EFU气体流通造成的所述清洗液上方较强的空气流动，从而抑制所述易挥发性化学清洗剂的挥发。通过该装置能够抑制清洗液中的化学清洗剂的浓度的降低，提高清洗液浓度的稳定性进而提高了对硅片的清洗效果，并且能够减少化学品的消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 硅片 装置 | ||
【主权项】：
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