[发明专利]载片系统及物料传递方法有效
| 申请号： | 202010930845.6 | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN112198761B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王魁波;吴晓斌;谢婉露;罗艳;沙鹏飞;韩晓泉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 何家鹏 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种载片系统及物料传递方法，载片系统包括腔室、充气装置、抽气装置和温度调节装置，腔室包括依次连通的大气腔、载片腔和工艺腔，大气腔与载片腔之间设置有第一物料阀，载片腔与工艺腔之间设置有第二物料阀；大气腔的内部设置为大气压环境，工艺腔的内部设置为真空环境；充气装置与载片腔连通，充气装置用于对载片腔充气以使载片腔的内部形成大气压环境；抽气装置与载片腔连通，抽气装置用于对载片腔抽气以使载片腔的内部形成真空环境；温度调节装置与载片腔连通以调节载片腔内的温度。本申请通过控制载片腔的气压环境和温度，以载片腔作为过渡腔，实现了物料在大气腔与工艺腔之间的传递，保证了工艺腔的清洁度和物料温度的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 物料 传递 方法 | ||
【主权项】：
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