[发明专利]一种酸性氯化铜蚀刻液再生系统及再生方法在审
| 申请号： | 202010933435.7 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN111926334A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 苏伟;叶宗和;王海峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市志凌伟业光电有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/08;C23F1/18 |
| 代理公司： | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人： | 林栋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观澜街道大富*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种酸性氯化铜蚀刻液再生系统，包括电连接的控制器、自动加液系统和传感器，传感器伸入盛放蚀刻液的蚀刻槽中，自动加液系统包括两个储液罐，两个储液罐分别盛装盐酸和过氧化氢，储液罐上分别设有注射器，注射器的注射口朝向蚀刻槽。或，一种酸性氯化铜蚀刻液再生方法，包括以下步骤，实时检测蚀刻槽内蚀刻液中铜离子的浓度；当检测到铜离子的浓度超过第一阈值时，向蚀刻液中加入至少一次盐酸和过氧化氢；当检测到铜离子的浓度低于第二阈值时，停止向蚀刻液中加入盐酸和过氧化氢。本发明的酸性氯化铜蚀刻液再生系统延长了蚀刻液的使用时间，进而降低废液的处理成本，利于保护环境，且再生过程中不会产生有毒有害气体，安全性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 酸性 氯化铜 蚀刻 再生 系统 方法 | ||
【主权项】：
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