[发明专利]一种氧化铟锡薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202010938385.1 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN114231902A | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 郎鑫涛 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/02;C23C14/34;C23C14/58 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种氧化铟锡薄膜的制备方法，包括：对基片进行预清洗处理，并对清洗后的基片进行烘干处理；其中，所述基片为陶瓷或玻璃；将烘干后的基片放入真空腔内，在真空度为1*10 |
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| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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