[发明专利]一种用于光刻机的晶片吸盘有效
| 申请号： | 202010939978.X | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112068402B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 秦小燕 | 申请（专利权）人： | 江西芯光微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525 | 代理人： | 赵爱婷 |
| 地址： | 344000 江西省抚*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于光刻机的晶片吸盘，支撑台的底面上成型有圆柱槽状的旋转安置槽；旋转安置槽内旋转设置有圆柱状的中心切换块；中心切换块的下侧壁上成型有四个圆周均匀分布的分配孔；中心切换块的下侧壁中心成型有与导气总管连通的中心导气孔；内移动槽的内侧壁上成型有L型状的外限位导气孔；外限位导气孔的上端贯穿设置并且与分配孔配合；底座内成型有四个圆周均匀分布的径向设置的下径向导气管；下径向导气管位于一对相邻的内移动槽之间；下径向导气管上成型若干与上导气孔配合的向上贯穿的下导气孔；下径向导气管内侧端成型有与分配孔配合的向上贯穿的内限位导气孔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 晶片 吸盘 | ||
【主权项】：
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