[发明专利]一种石墨烯拉力传感器在审
| 申请号： | 202010940517.4 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112014012A | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 金华伏安光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 322200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种石墨烯拉力传感器，第一支撑部和第二支撑部置于基底上，石墨烯层固定在第一支撑部和第二支撑部的上表面，石墨烯层呈悬空状态，石墨烯层中设有孔洞，孔洞方形周期性排布，方形周期的一个方向沿第一支撑部和第二支撑部的连线方向，颗粒置于孔洞中，颗粒的尺寸大于孔洞的尺寸。应用时，在第一支撑部和第二支撑部之间施加待测拉力，拉力改变石墨烯层的表面等离极化激元共振波长，通过探测该共振波长的移动实现拉力测量。本发明是基于微纳结构的，易于小型化和集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 拉力 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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