[发明专利]一种用于角抛光硅片样品的装置、设备及方法有效
| 申请号： | 202010944806.1 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN112025469B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 金铉洙 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B41/06;B24B29/02;B24B49/02;G01N1/32 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;姚勇政 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于角抛光硅片样品的装置、设备及方法，所述装置包括：具有用于抛光所述硅片样品的抛光面的抛光板，所述抛光板被驱动成绕公转轴线进行公转的同时绕自转轴线进行自转，其中，所述公转和所述自转的转向相反；固定至所述抛光板的环形构件，置于所述抛光板的抛光面上并且处于所述环形构件围绕出的环形区域内的夹具，所述夹具用于夹持所述硅片样品；其中，所述公转使所述夹具在离心作用下压靠在所述环形构件上，所述自转使所述环形构件沿着所述夹具的切向方向相对于所述夹具运动并为所述夹具提供切向摩擦力，以驱动所述夹具在所述抛光板的抛光面上自转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 抛光 硅片 样品 装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
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