[发明专利]晶片结晶定向的估测方法与系统在审
| 申请号： | 202010954376.1 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112485290A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 蔡伯宗 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李春秀 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及晶片结晶定向的估测方法与系统。根据本发明的一些实施例，一种方法包含：接收第一晶片；在所述第一晶片上界定第一区带及第二区带及多个第一区域；分别针对所述第一区带及所述第二区带界定多个第一区域及第二区域；将第一离子束投影到所述第一区域上且响应于所述第一离子束而接收第一热波；使所述第一晶片旋转达一扭角；将第二离子束投影到所述第二区域上且响应于所述第二离子束而接收第二热波；及基于所述第一离子束及所述第二离子束以及所述第一热波及所述第二热波估测所述第一晶片的第一结晶定向角。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 结晶 定向 估测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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