[发明专利]一种GaN光传感生物传感芯片及其制备方法和应用

摘要

本发明提供了一种GaN光传感生物传感芯片及其制备方法和应用。所述GaN基光传感生物传感芯片包括LED阵列和PD阵列，所述LED阵列包括若干个串联的微型柱状LED结构，所述PD阵列包括若干个串联的微型柱状LED结构，所述LED阵列外接电源；所述LED阵列和PD阵列的各个微型柱状LED结构按顺序依次包括紫外光敏树脂层、GaN LED外延层和液晶聚合物基板；所述GaN LED外延层按顺序依次包括p‑GaN层、InxGa1‑xN/GaN多维量子阱、n‑GaN层。本发明首次提供了一种以液晶聚合物基板为基板的GaN光传感生物传感芯片，具有优异的防水性能，具有生物相容性，具有优异的机械性能和光学性能，光学稳定性优异，可以应用于化学、生物传感器领域。