[发明专利]一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜及制备方法在审

专利信息
申请号: 202010966408.X 申请日: 2020-09-15
公开(公告)号: CN112129787A 公开(公告)日: 2020-12-25
发明(设计)人: 胡伟达;陈允枫;王振;叶家富;李庆;王芳;张莉丽;王鹏;陈效双;陆卫 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G01N23/04 分类号: G01N23/04;G01N1/28;G01N1/44
代理公司: 上海沪慧律师事务所 31311 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜及制备方法。利用特制的PPC膜,无损地将目标材料定点转移到铜网上完成TEM样品的制备,避免了湿法转移中存在的目标样品随机分布、材料损伤大、无法转移易水氧样品等问题,实现了高效、可靠地制备高质量的TEM样品。利用PPC的物理特性,在微区转移平台的辅助下,可以定点地对目标样品进行微区精准操作。这种全新的方法无须使用强酸强碱进行腐蚀,转移过程中不会对材料和碳膜造成损伤。该工艺适用于不同类型的材料,包括薄膜材料、二维材料、纳米线等。本发明的优点在于精准定点转移、无水接触、样品损伤小、有机残留少、适用面广、成本低、效率快、成功率高。
搜索关键词: 一种 用于 法定 转移 制备 tem 样品 ppc 方法
【主权项】:
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