[发明专利]一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜及制备方法在审
申请号: | 202010966408.X | 申请日: | 2020-09-15 |
公开(公告)号: | CN112129787A | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
发明(设计)人: | 胡伟达;陈允枫;王振;叶家富;李庆;王芳;张莉丽;王鹏;陈效双;陆卫 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | G01N23/04 | 分类号: | G01N23/04;G01N1/28;G01N1/44 |
代理公司: | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜及制备方法。利用特制的PPC膜,无损地将目标材料定点转移到铜网上完成TEM样品的制备,避免了湿法转移中存在的目标样品随机分布、材料损伤大、无法转移易水氧样品等问题,实现了高效、可靠地制备高质量的TEM样品。利用PPC的物理特性,在微区转移平台的辅助下,可以定点地对目标样品进行微区精准操作。这种全新的方法无须使用强酸强碱进行腐蚀,转移过程中不会对材料和碳膜造成损伤。该工艺适用于不同类型的材料,包括薄膜材料、二维材料、纳米线等。本发明的优点在于精准定点转移、无水接触、样品损伤小、有机残留少、适用面广、成本低、效率快、成功率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 法定 转移 制备 tem 样品 ppc 方法 | ||
【主权项】:
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