[发明专利]探针台聚焦方法、装置、计算机设备和存储介质在审
| 申请号： | 202010972787.3 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112213619A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 赵轶;郭剑飞;张雪英;黄长兴;姚建强;陈思乡 | 申请（专利权）人： | 杭州长川科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G06T7/70 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 陈涵 |
| 地址： | 310051 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种探针台聚焦方法、装置、计算机设备和存储介质，其中，该探针台聚焦方法包括：控制载片台带动晶圆以第一步距做第一运动，并获取第一运动起始位置和终止位置的晶圆图像；根据所述起始位置的晶圆图像和所述终止位置的晶圆图像，确定第二运动的初始位置和运动方向；控制载片台带动晶圆根据所述初始位置以及运动方向，以第二步距做第二运动；所述第二步距小于第一步距；在每移动第二步距后获取晶圆图像并记录位置信息；根据多个晶圆图像获取相应晶圆图像的清晰度，并根据位置信息以及相应位置信息对应的晶圆图像清晰度拟合清晰度曲线；通过本申请，解决了探针台聚焦时间长的问题，实现了探针台快速自动聚焦。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 聚焦 方法 装置 计算机 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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