[发明专利]EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布的分析方法有效
| 申请号： | 202010973484.3 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112198184B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 张瑾;张飞;叶翔;周建波 | 申请（专利权）人： | 宁波锦越新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2252 | 分类号： | G01N23/2252;G01N23/2202 |
| 代理公司： | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312 | 代理人： | 段艳艳 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，包括以下步骤：步骤1、采用酸液对高纯铝试样进行酸洗；步骤2、酸洗后高纯铝试样进行清洗并干燥；步骤3、干燥后高纯铝试样进行镶嵌；步骤4、镶嵌后高纯铝试样进行抛光处理；步骤5、抛光后试样进行EPMA观察和检测，应用Mapping分析功能对铟元素的含量和分布进行分析。本发明的分析方法简便、快速和准确，可克服已有成分检测技术具备的缺点，检测试样重复使用率高，不受外界引入其它杂质元素的干扰；不但可以检测出需检测元素含量，同时可通过面分析（Mapping Analysis）分析元素的分布位置，能够有效指导酸洗工艺的制定和实施。 | ||
| 搜索关键词： | epma 检测 高纯 铝靶材 酸洗 元素 含量 分布 分析 方法 | ||
【主权项】：
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