[发明专利]晶体的镀膜方法有效
申请号: | 202010978089.4 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN112059442B | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 丁伟;尹群;张峰;余辉;刘风雷 | 申请(专利权)人: | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/402;G02B1/02;G02B1/10 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 孙海杰 |
地址: | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种晶体的镀膜方法,涉及光学元件加工的技术领域,晶体的镀膜方法包括:沿着预设切割轮廓,利用激光从基片上表面入射在基片内部进行改质切割,得到第一中间产物;对第一中间产物的上表面和/或下表面进行镀膜,得到第二中间产物;沿着预设切割轮廓,利用激光在第二中间产物上表面进行划切操作,对晶圆进行裂片处理,从而将目标产物与边角料分离。因为第一中间产物中的目标产物与边角料并没有分离,所以镀膜时,不会对目标产物的周向侧面产生污染,周向侧面不需要进行保护胶处理,更无需进行除胶处理了,简化了加工步骤。 | ||
搜索关键词: | 晶体 镀膜 方法 | ||
【主权项】:
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