[发明专利]一种靶材绑定的方法在审
| 申请号： | 202010978641.X | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112063986A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 陈枫;苏百樱;陈宗鸿 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张天一 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材绑定的方法，包括以下步骤：(1)在背板和靶坯之间设置遮挡物，所述遮挡物呈框形，且所述遮挡物位于所述背板和所述靶坯之间的缝隙的边缘；(2)对所述背板的绑定区域和所述靶坯的绑定区域进行金属化；(3)对所述背板和所述靶坯进行盖合绑定，按设计尺寸调整所述背板和所述靶坯的相对位置并在所述靶坯上进行压重；(4)对所述靶坯进行降温，降温后扒除焊料池多余焊料，取出所述遮挡物；(5)将所述靶坯的焊层边缘多余的焊料刮除，得到焊层边缘向内收缩，且焊层边缘平整的靶材。本发明能够避免在溅射镀膜过程中发生靶材焊料溢流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绑定 方法 | ||
【主权项】：
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