[发明专利]一种检测方法和检测设备在审
| 申请号： | 202010981796.9 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN114199891A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;方一;黄有为;魏林鹏 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李婷婷 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种检测方法和检测设备，包括：提供检测光，所述检测光在待测物表面形成检测光斑，所述检测光经所述待测物形成信号光；探测所述待测物表面探测区内的第一信号光，所述探测区与所述检测光斑至少部分重叠，调整第一信号光的检测区域的尺寸，其中，调整第一信号光的检测区域的尺寸包括：在对所述待测物远离其中心的区域进行检测时，将检测第一信号光的检测区域调整为第一尺寸，在对所述待测物靠近其中心的区域进行检测时，将检测第一信号光的检测区域调整为第二尺寸，在垂直于扫描方向的方向上，所述第一尺寸大于所述第二尺寸，以减小光斑内外两侧的扫描速度差异，提高检测的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳中科飞测科技股份有限公司，未经深圳中科飞测科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010981796.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种保护电器的防倒插结构
- 下一篇：一种分光器以及通信系统
