[发明专利]控制设备和方法、光刻装置、制造物品的方法和存储介质有效
| 申请号： | 202010984147.4 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112526828B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 西村光英;本岛顺一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供控制设备和方法、光刻装置、制造物品的方法和存储介质。控制设备用于通过向控制对象赋予前馈操作量来进行对控制对象的位置控制，从而即使在通过赋予前馈操作量来进行位置控制的情况下继续控制的目标时间超过上限，也能够抑制控制偏差，控制设备包括：被构造为用作确定单元和校正单元的至少一个处理器或电路，确定单元被构造为，确定用于继续使用前馈操作量的控制的目标时间是否超过预定时间，并且校正单元被构造为，在确定单元确定目标时间超过了预定时间的情况下，将前馈操作量校正为向目标时间的末端衰减。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 设备 方法 光刻 装置 制造 物品 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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