[发明专利]一种流体线射流抛光装置及其应用方法有效
| 申请号： | 202010989012.7 | 申请日： | 2020-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN112059924B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王春锦;张志辉;何丽婷 | 申请（专利权）人： | 香港理工大学 |
| 主分类号： | B24C3/32 | 分类号： | B24C3/32;B24C7/00;B24C9/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 郭帅 |
| 地址： | 中国香港*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 本发明涉及抛光领域，公开了一种流体线射流抛光装置及其应用方法，所述线射流喷嘴包括连接部、入口、壳体、汇集腔以及出口；其中，所述壳体设置在所述线射流喷嘴外部，所述汇集腔设置在所述线射流喷嘴内部，所述汇集腔的上部设有所述入口，所述入口处设有与所述高压抛光液供给系统相连的连接部，所述汇集腔的下部设有所述出口；所述出口的长度与宽度比值为2‑50；所述高压抛光液供给系统输出的高压抛光液通过所述入口，经所述汇集腔在所述出口喷射出高压高速的流体线性射流，产生比传统单射流抛光能量更高、比线性射流阵列抛光作用效果更加稳定的排线式射流。本发明设计合理、经济有效，在超精密抛光领域具有重要的推广应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 射流 抛光 装置 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
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