[发明专利]一种离子注入设备上的观察窗安装结构

摘要

本发明公开了一种离子注入设备上的观察窗安装结构，包括离子注入设备上的面板和玻璃板，玻璃板通过安装支架安装在面板上，安装支架包括盖板，盖板的中心成型有与窗口相对的观察口，盖板的外边成型有矩形的外边框，盖板的后端面上固定有矩形的内边框，内边框和外边框上均插设有锁条，锁条的中部成型有螺纹孔，锁条的两端插接有导向柱，导向柱的两端分别固定在内边框和外边框上；外边框的边板上成型有与螺纹孔相对的穿孔，穿孔两侧的外边框边板上成型有定位孔，定位孔内插接有定位销，定位销固定在锁条上；面板上安装框的侧边上分别成型有与穿孔或定位销相对的螺栓过孔或销孔。