[发明专利]具有连接板的基板处理装置、基板处理方法在审
| 申请号： | 202011000514.9 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112635282A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 辻直人;柳泽一平;霜鸟美萌;五十岚诚 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基板处理装置的示例包括：环形分配环；多个连接板，其连续到分配环并具有不均匀阻抗；喷淋板，其电连接到多个连接板；以及台架，其设置在喷淋板下方以面对喷淋板。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 连接 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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