[发明专利]一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机

摘要

本发明公开了一种电容器用锌铝复合金属化薄膜蒸镀机，包括真空室，所述真空室内设有冷却主鼓机构、放卷机构及收卷机构，所述冷却主鼓机构与放卷机构、收卷机构之间均设有导辊，所述冷却主鼓机构位于所述放卷机构与收卷机构之间的下方，所述冷却主鼓机构下方设有锌蒸发源，所述锌蒸发源的两侧分别设有第一铝蒸发源与第二铝蒸发源，所述第二铝蒸发源的上方设有第二蒸镀挡板，所述第二铝蒸发源和第二蒸镀挡板之间设有喷氧气机构。本发明能有效保证金属化薄膜的蒸镀纯度，蒸镀的金属化薄膜镀层均匀，第二铝蒸发源蒸发的铝蒸汽与喷氧气机构喷出的氧气反应，形成AL2O3均匀地镀到薄膜上，有效保护金属镀层，同时提高薄膜的耐压强度。