[发明专利]一种清洗干燥系统及清洗干燥方法有效
| 申请号： | 202011019813.7 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112222079B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 王善鹤;何生权;阮玉帅;孙田雨;王军伟 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 向森 |
| 地址： | 230037 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种清洗干燥系统和清洗干燥方法。洗干燥系统适于对掩膜板进行清洗干燥，包括清洗槽、移动装置、干燥装置和监控装置。移动装置适于从清洗槽中抓取掩膜板进行移动。干燥装置包括吹气单元和连接部件，吹气单元与连接部件可转动连接，吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置连接移动装置和干燥装置，监控装置适于控制移动装置从清洗槽中抓取掩膜板至第一预设位置，监控装置适于控制吹气单元围绕连接部件转动至第二预设位置。通过控制掩膜板移动和吹气单元转动，能够针对性的对掩膜板的不同倾斜角度的对位孔进行作业，对对位孔的侧壁以及对位孔的周围表面进行吹气干燥保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 干燥 系统 方法 | ||
【主权项】：
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