[发明专利]判断装置在审
| 申请号： | 202011023439.8 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112558435A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 增田充宏 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01B11/00;G06N20/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了提供能够判断是否需要维护基板处理装置的判断装置，本发明所涉及的判断装置的特征在于，针对在基板处理装置中摄像的基板上的标志的图像数据，使用通过机器学习取得的学习模型，进行与对准失败要因有关的分类，根据分类的结果，判断是否需要维护基板处理装置。 | ||
| 搜索关键词： | 判断 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011023439.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
