[发明专利]一种低成本高纯六硼化硅生产工艺有效

专利信息
申请号: 202011026374.2 申请日: 2020-09-25
公开(公告)号: CN112125315B 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 张洪涛 申请(专利权)人: 辽宁中色新材科技有限公司
主分类号: C01B35/02 分类号: C01B35/02
代理公司: 锦州辽西专利事务所(普通合伙) 21225 代理人: 王佳佳
地址: 121000 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种低成本高纯六硼化硅生产工艺,将三氧化二硼和硼氢化钾,在氩气保护,球磨混料后,压制成块,装入真空碳管炉中,抽空,750℃保温5小时;升温至1250℃,继续保温,直至炉内压力微正压,还原反应彻底结束,将得到石墨坩埚内的单体硼和氢氧化钾混合体,放入蒸馏水加热清洗,烘干,得到硼粉;将硼粉和硅粉球磨混料后,装入自蔓延反应釜中,反应釜抽空,真空度到1帕,送电升温钨丝,点燃锆粉,进行高温自蔓延化合反应,反应结束,降温,除杂,得到高纯六硼化硅。以三氧化二硼和硼氢化钾为原料,原料成本相对较低,且整个工艺合理可控,生产出的六硼化硅的纯度为99.5%,适合工业化生产。
搜索关键词: 一种 低成本 高纯 六硼化硅 生产工艺
【主权项】:
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