[发明专利]操作沉积设备的方法和沉积设备在审
| 申请号： | 202011030871.X | 申请日： | 2016-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN112458404A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波;斯蒂芬·班格特;德烈亚斯·勒普;哈拉尔德·沃斯特;迪特尔·哈斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种操作沉积设备之方法。所述方法包括：通过从蒸发源(20)的一个或多个出口(22)导引蒸发的源材料朝向基板(10)而在基板(10)上沉积蒸发的源材料，其中部分的蒸发的源材料由屏蔽装置(30)阻挡并且附接于所述屏蔽装置，所述屏蔽装置布置在一个或多个出口(22)和基板(10)之间；接着通过至少局部地加热屏蔽装置(30)来清洁屏蔽装置(30)，以用于从屏蔽装置(30)释放至少部分的附接的源材料。根据另一方面，提供沉积设备，所述沉积设备可根据所述的方法操作。 | ||
| 搜索关键词： | 操作 沉积 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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