[发明专利]可翻转承载装置在审
| 申请号： | 202011035365.X | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112111723A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 段尧;邓荣斌;王念;张丽娟;鲁朝宇;段登辉;马兴民 | 申请（专利权）人： | 云南北方奥雷德光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 昆明祥和知识产权代理有限公司 53114 | 代理人： | 张亦凡 |
| 地址： | 650223 云*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明涉及超高真空成膜设备技术领域，具体为一种可翻转承载装置，该装置包括行星基片架、旋转机构和翻转机构，旋转机构设置在行星基片架上表面，旋转机构的垂直转轴设置于行星基片架中央，垂直转轴上端与伺服电机的转子联动，转子与垂直转轴间设置有电磁离合器；垂直转轴下端与扇形旋转架的圆心角处连接；扇形旋转架弧面上设置轮齿；翻转机构设置在行星基片架开孔处，翻转机构的固定夹为环形，固定夹上设置用于锁定基片的夹具；固定夹两侧设置翻转转轴，行星基片架开孔处设置对应的轴承，一侧翻转转轴上设置翻转齿轮，所述翻转齿轮与扇形旋转架啮合。该装置机械结构简单，后期便于维护，可以得到广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 翻转 承载 装置 | ||
【主权项】：
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