[发明专利]一种激光干涉仪有效
| 申请号： | 202011053058.4 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112146563B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 苏炎;李昱;陈居凯 | 申请（专利权）人： | 苏州众为光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015;G02B5/30;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 孔凡玲 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光干涉仪，包括激光发生器、调整装置、第一分光镜、第一角锥反射镜、第二角锥反射镜、第二分光镜、压缩透镜、接收器、检测装置；第一分光镜为偏振分光镜包括基层和膜系，膜系结构包括三个膜堆均由非四分之一波长光学厚度的高折射率膜层和低折射率膜层交替堆叠；激光发生器发出的激光经调整装置后进入第一分光镜，第一分光镜将激光分为参考光和测量光，参考光反射后出射，测量光反射后出射，两束光经第一分光镜反射后汇合成集合光束，进入第二分光镜；集合光束经第二分光镜分成第一分光束和第二分光束，第一分光束传送至接收器用于位置测量，第二分光束投影到检测装置用来观测参考光斑和测量光斑的重合度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 干涉仪 | ||
【主权项】：
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