[发明专利]一种晶圆蚀刻背面研磨机有效
| 申请号： | 202011059223.7 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112171504B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 李善龙 | 申请（专利权）人： | 车艾建 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B37/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州天河万研知识产权代理事务所(普通合伙) 44418 | 代理人： | 刘强;陈轩 |
| 地址： | 223800 江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆蚀刻背面研磨机，其结构包括研磨机构、覆盖盘、设备座、控制面板，研磨机构嵌固安装在设备座的右侧上端面，覆盖盘与设备座卡合连接，控制面板镶固卡合安装在设备座的右侧端面，当在对晶圆进行安装时可将晶圆挤入橡胶块所组成的环状平面内，通过活动板与柔性块所形成的夹角对晶圆片形成拦截，且在晶圆片挤压橡胶块的同时会使其内部轮廓随着挤压与第二橡胶块的支撑下造成形变，对晶圆片的横向外轮廓形成包裹状。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 背面 研磨机 | ||
【主权项】：
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