[发明专利]在有机胶层上形成含银金属层的方法有效
| 申请号： | 202011064144.5 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN114318230B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 毛传银 | 申请（专利权）人： | 镭亚电子（苏州）有限公司;镭亚股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 于小宁 |
| 地址： | 215500 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种在有机胶层上形成含银金属层的方法。该方法包括：在基板上提供有机胶层；以及在含氧环境下将含银金属作为靶材执行溅射工艺，以在所述有机胶层上形成含银金属层。在含氧环境下将所述含银金属作为靶材执行溅射工艺包括：在整个所述溅射工艺中持续通入氧气并且控制所述氧气的流量，使得所述有机胶层表面的有机物杂质与氧元素发生反应并从所述有机胶层表面脱离。本公开提供的方法可提高有机胶层的表面能，从而在几乎不影响溅射率的情况下有效改善有机胶层与含银金属层之间的附着力。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 胶层上 形成 金属 方法 | ||
【主权项】：
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