[发明专利]装载端口装置及装载端口装置的驱动方法

摘要

本发明提供能够防止在打开晶圆搬运容器的盖部时内部的气体从连结部分向外部漏出的问题的装载端口装置及装载端口装置的驱动方法等。一种装载端口装置，将晶圆搬运容器的主开口连结于框架开口，具有：载置部，其具有设置上述晶圆搬运容器并相对于上述框架开口相对移动的载置台；框架部，其从上述载置部向上方直立，并形成有上述框架开口；凸缘夹部，其具有：卡合部，其能够卡合于包围上述主开口的外周的凸缘部；以及驱动部，其在上述卡合部进行将上述卡合部卡合于上述凸缘部的卡合动作和将上述卡合部从上述凸缘部脱离的脱离动作；以及检测部，其能够将上述凸缘夹部进行的上述卡合动作至少区别为正常卡合动作和异常卡合动作而进行检测。