[发明专利]金属内连线结构及其制作方法在审
| 申请号： | 202011082669.1 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN112435983A | 公开（公告）日： | 2021-03-02 |
| 发明（设计）人： | 周逸豪;傅子豪;谢宗殷;张志圣;蔡世群;何坤展;林泱佐 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522;H01L23/532;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种金属内连线结构及其制作方法，其中该金属内连线结构主要包含第一金属内连线设于一基底上的一金属间介电层内且第一金属内连线上表面切齐金属间介电层上表面、一第二金属内连线设于第一金属内连线上以及一遮盖层设于第一金属内连线以及第二金属内连线之间，其中遮盖层包含一导电层以及U形接触该第一金属内连线以及该第二金属内连线。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 连线 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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