[发明专利]被加工物的加工方法和加工装置在审
| 申请号： | 202011088535.0 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112658487A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 能丸圭司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/60;B23K26/70;B23K26/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供被加工物的加工方法和加工装置，能够以高精度加工被加工物。该被加工物的加工方法在对被加工物进行加工时使用，其中，该被加工物的加工方法包含如下的步骤：配置步骤，将被加工物配置于气体中，该气体包含产生与被加工物反应的活性种的物质；测量步骤，对配置于气体中的被加工物的厚度的分布进行测量；以及激光束照射步骤，对气体中的被加工物照射根据通过测量步骤而测量的厚度的分布而调整了功率的激光束，在激光束照射步骤中，对被加工物照射调整了功率的激光束，从而控制被加工物的被照射了激光束的区域通过活性种而被去除的去除量。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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