[发明专利]阵列基板及其制备方法

摘要

本发明提供一种阵列基板及其制备方法，阵列基板包括基板、有源层、第一栅极绝缘层、栅极层、层间介质层、感光层以及遮挡层，有源层设置于基板上，有源层包括半导体部和第一掺杂部，第一掺杂部设置于半导体部的两侧，第一栅极绝缘层覆盖基板以及有源层，栅极层设置于第一栅极绝缘层上，栅极层位于半导体部之上，层间介质层覆盖第一栅极绝缘层以及栅极层，层间介质层包括第一通孔，第一通孔贯穿第一栅极绝缘层以及层间介质层以暴露第一掺杂部，感光层设置于第一通孔以及层间介质层上，遮挡层设置于感光层上。通过将感光层设置在有源层的第一掺杂部上，降低了生产成本，并提高了阵列基板的良率。