[发明专利]一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置在审
| 申请号： | 202011098904.4 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112268507A | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 刘健;陈亮;吴海燕;姚庆;奚彩雨 | 申请（专利权）人： | 江苏鑫汉电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海创开专利代理事务所(普通合伙) 31374 | 代理人： | 吴海燕 |
| 地址： | 212000 江苏省镇江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，涉及碳化硅晶圆检测技术领域，具体为包括底柜和检测组件，所述底柜左端安装有存料台，且存料台表面开设有储物槽，所述存料台的右侧表面安装有红外接收器，所述底柜的表面开设有滑槽，且滑槽内部安装有液压推杆，所述液压推杆一端连接有上料架，且上料架内部安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆底部安装有连接块。该应用于碳化硅晶圆的红外检测装置，通过上料架、传输带与凹槽之间的相互配合设置，使得上料架底部的吸盘能够将碳化硅晶圆放置于凹槽中，配合凹槽内部的无痕胶，能够将碳化硅晶圆粘在凹槽中，从而实现对碳化硅晶圆的定位固定，避免在检测的过程中碳化硅晶圆晃动，造成测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 碳化硅 红外 检测 装置 | ||
【主权项】：
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