[发明专利]拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置在审
| 申请号： | 202011121288.X | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112191033A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 刘峰岳;师洋;单海涛 | 申请（专利权）人： | 北京中兴汇融节能科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王富强 |
| 地址： | 100041 北京市石*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法，涉及半导体制备技术领域，拉晶炉生产作业完成后，并在一次氧化结束后，向简谐式除尘器下部灰仓内通入压缩空气，并控制压缩空气的进气量，本发明还提供一种拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除装置，包括依次连接的压缩空气接头、调压阀和流量控制阀，压缩空气接头自由端用于与压缩空气出气管道连接，流量控制阀出气端用于与简谐式除尘器下部灰仓连接。本发明提供的拉晶炉配套简谐式除尘器内SiO清除方法及装置，使SiO在安全可控状态下完成氧化反应，避免清灰作业时烧损滤料及粉尘爆炸的发生，达到了保护过滤滤材及防治粉尘颗粒外排大气的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 拉晶炉 配套 简谐式 除尘器 sio 清除 方法 装置 | ||
【主权项】：
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